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仪表网供应网 测量/计量 其它测量 其它测量820 系列气体质量流量仪

820 系列气体质量流量仪

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  • 上海上海

更新时间:2025-05-21

有效日期:还剩91

产品详情

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操作规格 气体:
大多数气体;检查与仪表材料的兼容性;订货时具体指出。
质量流量:
0~10sccm 到 0~50slpm;的流量范围是 76 厘米 汞柱、21ºC(70ºF)下的氮气对应流量范围;用其他单位表示的流
量范围也可提供( 即 : scfh 或 nm3/hr)。
气体压力:
150psig(10barg);20psig(1.4barg)。
气体&环境温度:
32ºF 到 122ºF(0ºC 到 50ºC)。
防渗漏功能:
为 1×10-4 atm cc/sec(氦气)。

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性能规格
精度:
±1.5 满度,在 15ºC~25℃及 5 到 60psia(0.3 到 4bara)范围内。 如果流量计是通过垂直流量通路安装的,
则准确度为下所示:


操作压力


入口压力差 50psig 100psig 150psig
±1psig ±1.5%满度 ±1.5%满度 ±1.5%满度
±5psig ±3.8%满度 ±4.5%满度 ±5.3%满度
±10psig ±6%满度 ±7.5%满度 ±9%满度

重复性:
±0.5%满度。
温度系数:
0.08%满度每 ºF(0.15%满度每 ºC),或更好。
压力系数:
0.01%满度每 psi(0.15 满度每 bar),或更好。
响应时间:
时间常数 800 毫秒;6 秒到最终值的±2%以内(满 度的 25%到 100%)。


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