爱德华半导体螺杆真空泵IH600

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爱德华真空泵IH600/IH1000在半导体行业有着广泛的使用，一般是配合罗茨型真空泵EH2600使用，可以更快的为客户提供所需真空，同时螺杆真空泵在处理水分和小型颗粒，腐蚀性气体非常合适。

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH600/1000 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

爱德华真空泵针对不同的行业，推出不同的真空泵配型，不同的行业，由于使用环境和工作运行状态不同，需要的产品性能不同，因此爱德华真空泵产品类型众多，没一款产品都是针对不同的行业使用有着非常明显的效果，在高真空和超高真空领域有着非常强大的。

行业应用：
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

IH600订货号：

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
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iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
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iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
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爱德华半导体螺杆真空泵IH600性能参数：

IH1000性能参数：

iH1000 干式泵 460V，60 Hz，3 相
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iH1000 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
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iH1000 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
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iH1000 干式泵 230V，60 Hz，3 相
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