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MFC300-微流量气体流量计

  • 产地
  • 所在地
  • 苏州市
  • 江苏苏州市

更新时间:2025-04-25

有效日期:还剩365

产品详情

微流量气体流量计MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

微流量气体流量计

产品特点

超快响应:5ms 测量响应,300ms控制响应

高重复性,宽量程比

更小体积,安装方便

无需预热,使用便捷

分阶流量控制软件,灵活配置

介质要求  洁净干燥无腐蚀性气体

气体种类  Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

测量和控制范围  0.2%-1 00%F.S. (1:500)

准确度  ±0.5%F.S.

重复精度  ±0.5%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可选)

传感器响应时间  5ms

控制响应时间  300ms

预热时间  ≤1s

阀门  常闭式




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商家概况

主营产品:
气体流量计,气体质量流量控制器,MFC300,MFC330
公司性质:
生产厂家

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