产品详情
MC100标准型气体层流质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制,采用内部补偿型层流压差技术,使得流体在宽流量范围内仍旧保持层流运动,内置压力传感器和温度传感器,能充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,可根据用户需求快速精确控制目标气体的流量,适用于多种流量测控场合。
特征:
l 原理:层流压差式原理
l 便捷操作:可触屏点击操作、读取流量,或者提供上位机软件操作。
l 核心优势:高精度、高重复性、快速响应
l 宽温度、宽压力适用范围:-20℃~60℃、1Mpa以内
l 实时测量、显示温度、压力、流量等多过程参数
l 内置49种气体,,一键自由切换气体,无需查找、输入系数,
l 可测控混合气体,用户自主编辑设定混合气体,操作简单
l 无需预热时间,开机即可使用,即插即用。
产品规格:
l 产品型号:MFM:S系列,M系列,P系列; MFC:SC系列,MC系列
l 量程范围:0.5sccm~5000slpm
性能参数:
l 精度:±1.0%RD,±1.0%S.P.
l 重复精度:±0.2%F.S.
l 压力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100Kpa; Span:≤±0.2%F.S./100Kpa(基准100KPa(绝压))
l 温度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.02%F.S./℃(基准温度20℃)
l 工作范围:1%~120%F.S.
l 响应时间:MFM≤100ms. ; MFC≤100ms
l 启动预热时间:1s
使用条件:
l 介质温度:-20℃~60℃
l 环境温度:-20℃~50℃
l 使用湿度:0%~98%(无冷凝)
l 工作压力:0~1Mpa
l 耐压:1.5Mpa
l 供电电压:24V±20%
l 消耗电流:<150mA (<5V)
l 安装方式:任意角度
l 接气部材质:SUS304,SUS316L,航空铝材
l 进出口:管螺纹(内螺纹)
l 接气部密封材质:橡胶圈密封:氟橡胶
通讯方式:
l 数字信号:RS485,Profibus
l 模拟信号:4-20mA,0-5V
应用场景:
l 配套流量校准平台的流量测量设备
l 实验中的气体流量测量
l 机械动力测试系统中的气体流量测量
l 材料制备实验中的中的气体流量测量
l 真空实验舱及真空试验系统中的气体流量测量
l 生物反应器实验装置中的气体流量测量
l 高精度实验仪器的研发和试制
l 分析测试仪器
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