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LIP-SPM100T系列为热式质量流量控制器，采用热式原理实现对气体流量的精确控制，流量传感器采用毛细管传热温差测量原理测量气体的质量流量，控制器工作时将传感器加热电桥测得的微弱信号放大测量，转换成流量后与设定流量进行比较，根据差值计算出控制调节阀门的开度，进而实现流量的精确控制。该系列的精度源于传感器探头，此密封探头有两个传感元件组成——速度传感器及温度传感器，能自动校正温度变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热至高于气体/液体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体质量流量成正比的原理计算流量。
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