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INCA WAVE 波谱仪是SEM中很少采用与EPMA相同的全聚焦几何设计的波谱仪。这意味着分辨率提高了2倍，测量更加稳定且可重复。
WAVE是一种以其工程精度和质量而闻名的全聚焦光谱仪。WAVE光谱仪的内部组件(晶体、探测器和测角仪)以高精度协调运行，以保持正确的衍射条件，且测量是可重复的。
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