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移动式等离子清洗中心,配置小型长方腔室,可清洗、储存和处理SEM/TEM样品/支架和其他杂物。 Qwk-Switch™快速接头将碳氢污染转移到其他SEM或FIB以进行原位镜腔清洁。
MCA腔室可容纳需要去除碳氢污染的样品,亲水表面可储存和清洁三个TEM样品杆,带有ibss签名的GV10x顺流等离子清洗器安装在便携式的不锈钢推车上。
该移动式清洗中心提供有效和可靠的原子清洗,无溅射损伤,不加热样品 。操作由前面板控制,前面板配置了简单易用的通气-关闭-开启3位开关,设置了等离子参数的排气泵,明亮的触摸屏配备了的ibss软件。
当Qwk-Switch™开关转到SEM/FIB时,周期性的等离子清洗将防止电子束的降解,从而消除SEM镜腔中的碳氢污染物的聚集。 MCA是一台具有成本效益的机器,不到一年的时间便可获得其投资回报。
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