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中图仪器CEM3000系列快速抽气台式扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析。运用了快速抽放气设计,让用户在使用时不再等待,且全系列可选配低真空系统,以便精准调节样品仓内真空度,满足不同样品的观测需求。此外,该系列电镜也可通过加装各类探头和附件,满足用户的拓展性需求,这使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域得到了广泛应用。
CEM3000系列快速抽气台式扫描电镜在工业领域展现出广泛的应用价值,标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统,能满足用户对多类型样品的观测需求,实现微观的形貌和元素分析等。
1)台式电镜紧凑的外型,CEM3000系列台式扫描电镜能够不受场地尺寸制约,真正做到了空间适用性,用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求,轻松移机,一台机器多处开花;
2)高分辨率,能够对微尺寸特征进行观测分析,满足用户的观测需求;
3)快速抽放气,凭借真空系统设计,该系列台式电镜缩短了用户抽放气的等待时间;
4)高易用性,能够快速成像、一键出片,用户使用自动调节功能,无需过多人工操作,就可得到高质量拍摄图片;
5)大样品仓,CEM3000A在保证较小外型尺寸同时,具有比肩立式电镜的大仓室,从而容纳更大尺寸样品;
6)高抗振防磁性能,全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B使用本公司技术,基于复合抗振手段,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度;
7)可选配低真空模式,保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度,进而对不同类型的样品进行观测;
8)能够提供多种成像参数供用户选择,满足专业用户的调节需求;
9)搭配有多种探头,能够对样品进行多种手段的分析。
CEM3000快速抽气台式扫描电镜则凭借其简便的操作系统,让复杂的扫描电镜使用过程变得简单快捷。样品一键装入,自动导航和一键出图能力(自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度)帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像,大大提升了使用效率。
1.高易用性快速成像、一键成片,无需过多人工调节。
2.超高分辨率优于4nm(SE),优于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米级别景深,具有高空间分辨率。
4.多探测器可实现四分窗同时扫描成像。
5.抗振性能优异。
材料科学:纳米材料(如60nm银线)、高熵合金粉末、氧化锌等微观结构分析。
新能源:太阳能电池板缺陷检测、涂层性能评估。
生物医疗:微流控芯片表面形貌观测、药物载体研究。
工业质检:锡球颗粒焊接质量、精密器件表面粗糙度检测。
CEM3000A(大样品仓型):70mm×70mm样品仓,兼容大尺寸或多样品批量分析。
CEM3000B(抗振型):专为振动环境设计,抽气更快(低真空仅40秒),成像更稳定。
型号 | CEM3000A(大样品仓型) | |
电子枪 | 灯丝 | 钨灯丝 |
分辨率 | 优于4nm(SE),优于8nm(BSE) @20kV | |
加速电压 | 1 ~ 20kV | |
放大倍数 | 电子图:40 ~ 200,000×(可选配大图拼接) | |
探测器 | 二次电子 | 标配 |
背散射电子 | 标配(四象限高分辨探头) | |
能谱仪 | 选配 | |
自动化软件 | 标配:自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 | |
选配:颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 | ||
真空系统 | 真空度 | 高真空:优于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(选配) |
抽真空时间 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
样品台 | 自动轴 | X,Y,T |
手动轴 | R,Z | |
行程范围 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手动旋转、电子束旋转) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
样品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
仓内相机 | 导航相机 | 标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 | 标配高分辨红外相机 | |
操作系统 图片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
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