Global Etch激光开封机

1.1 设备外型：立式。（近期因注册，外型以实际到货为准）

1.2 激光类型：风冷式光纤激光器

1.3 激光扫描头：高精密数字扫描头

1.4 激光波长： 1064nm

1.5 输出功率： 20W

1.6 输出功率范围： 1% ~

1.7 脉冲宽度： 1ns ~ 250ns

1.8 光束质量： M² ≤ 1.3

1.9 激光频率： 1Khz-1000Khz

1.10 开封深度： 0.01mm~3mm（输出功率一次可以开 3mm 深度）

1.11 开封速度： ≥ 8000mm/s

1.12 实时操作模式，同轴和共焦：可以直接导入 X-Ray, SAM, SEM,JPG,PLT 等图像

（同轴共焦所见即所得，影像系统和激光系统共焦和

同轴的彩色成像系统，实时成像与激光扫描同步）

1.13 系统软件：专业开封控制软件，简洁的用户界面，易学易用。可升级。

软件功能强大，界面友好。傻瓜式绘制开封图形。中心和任意位置画

图操作（方形，圆形，线性，方形框，圆形框等）。可打印中英文字

体， CCD 视觉定位功能。可以快速，实时，导入 X-ray 图像，几十秒

之内完成。）

1.14 聚焦（选项）：自动软件寻焦。（实时红光显示，简便、精度高。激光聚焦点是

激光能量强点，随着样品厚度增加，用实时

红色光点自动来捕捉聚焦点，节省时间）

1.15 激光寿命：大于 80000 小时，能 24 小时全天候使用，寿命长达 10 年。

1.16 扫描范围： 110mm x 110mm（ option 可根据客户需求定制更大的范围）

1.17 激光安全等级： Class IV4 / 10

1.18 设备安全等级： Class I 设备设有门互锁装置，

当门打开时，激光强制停止出光，达到无伤害安全等级。

1.19 激光安全玻璃视窗：设备安装可观察安全玻璃视窗，保护眼睛不被侵害。

1.20 稳压电源：标配（激光遇到瞬间电压或电流不稳定，极易造成损坏）。

1.21 设备附配显微镜：标配 45 倍 LED 观测显微镜（取出样品，方便观察开封效果）

1.22 烟尘过滤器：环氧树脂粉尘被吸入一个集尘器，排出正常的气体。

-超小型体积，质量轻，性能高

-可以满足各类激光加工需求的除异味高压型除尘机

-适合于狭小场所或者配套于其它设备， 24 小时连续运转

-盒式过滤器组装在设备中，更换简单，无需维护

-可以获得较高的吸引力(1.8kPa)

-自动振动手柄防止过滤器的堵塞

-1 次过滤器的除尘效率： 4.5 µ 的颗粒， 80%以上

-2 次过滤器采用了带活性炭的过滤材料

-3 次过滤器的除尘效率： 0.3 µ 的颗粒， 98%以上

-通过风量调节按钮自由调节吸气能力

1.23 EMO：紧急停止按钮。（安全规定）

1.24 样品尺寸： 0.5mm - 50mm（ option 可根据客户需求定制更大的范围）

1.25 照相机：大于 1500 万像素，高精度彩色照相机。 FOV: 50mm x50mm。

1.26 视觉倍率：无极变倍。（实时影像放大缩小，此功能更方便的开封更小的样品，实

时放大并方便捕捉和绘图）

1.27 电脑：高稳定性定制商业电脑。

1.28 显示器： LCD19"

1.29 键盘和鼠标：无线 Logitech 罗技

1.30 电源： 220V - 240V, 50HZ - 60HZ, 60A

1.31 设备尺寸： 700mm x 1000mm x 1700mm（ 以实际出货为准）

1.32 重量： 150KG

1.33 气体：大于 0.3Mpa

2、设备主要功能（激光开封机）

2.1 设备用途：

利用激光蚀刻气化原理，设置激光参数，将被刻蚀样品的塑封外胶剥离去除。

首先，激光至绑点 200-300UM 时，用化学方式打开芯片。

再用激光直接打开第二邦点。以便观测样品内部分析。6 / 10

2.2 操作过程：

1）、将被开封样品放在开封机工作平台上；

2）、开启激光装置，针对样品进行定位和聚焦；

3）、画出任意需要开封的区域；

4）、根据被刻蚀样品设置激光开封参数；

5）、视觉系统实时观察样品开封状况