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产品详情
配备断面研磨能力达到500 µm/h*2以上的高效率离子枪。因此，即使是硬质材料，也可以高效地制备出断面样品。
断面研磨加工原理图
平面研磨（Flat Milling®）加工原理图
附冷却温度调节功能的IM4000PLUS
该功能可有效防止加工过程中，由于离子束照射引发的样品的温度上升，所导致样品的溶解和变形。对于过度冷却后会产生开裂的样品，通过冷却温度调节功能可防止其因过度冷却而产生开裂。
常温研磨
冷却研磨
| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| IM4000PLUS | IM4000PLUS | |
| 断面研磨杆 | 平面研磨杆 | |
| 使用气体 | Ar（氩）气 | |
| 加速电压 | 0 ～ 6 kV | |
| 研磨速度（Si材料） | 500 µm/hr*1 以上 | - |
| 样品尺寸 | 20（W）× 12（D）× 7（H）mm | Φ50 × 25（H） mm |
| 离子束 间歇照射功能 | 标配 | |
| 尺寸 | 616（W）× 705（D）× 312（H）mm | |
| 重量 | 机体48 kg＋回转泵28 kg | |
| 附冷却温度调节功能的IM4000PLUS | ||
| 冷却温度调节功能 | 通过液氮间接冷却样品、温度设定范围：0°C ～ －100°C | |
| 选项 | ||
| 空气隔离 样品夹持器 | 仅支持断面研磨夹持器 | - |
| FP版断面研磨夹持器 | 100 µm/rotate*2 | - |
| 用于加工监控的显微镜 | 倍率 15 × ～ 100 × 双目型、三目型（支持CCD） | |
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