产品详情
·100, 200或300原子量
·分辨率优于1原子单位(amu)
·6个数量级动态范围
·5×10-14 Torr检测限
·RGA Windows & LabVIEW软件
·支持探头操作
·现场可更换的灯丝和离化器
·RS-232 界面
RGA 系列
SRS 的 100、200 和 300 amu 残余气体分析仪提供的性能和价值。这些 RGA 提供真空系统的详细气体分析,价格仅为竞争型号的一半。每个 RGA 系统都配有一个四极杆探头、电子控制单元 (ECU) 和一个用于数据采集和分析以及探头控制的实时 Windows 软件包。
坚固的探头设计
探头由离子发生器、四极滤质器和检测器组成。简单的设计具有少量零件,可限度地减少放气并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用,可安装在标准
紧凑型电子控制单元
密集封装的 ECU 包含用于控制 RGA 头的所有必要电子设备。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 电源或插入交流电源插座的可选内置电源模块供电。LED 指示灯提供有关电子倍增器、灯丝、电子系统和探头状态的即时反馈。ECU 可以很容易地从探头上拆下,以进行高温烘烤。
的灯丝设计
长寿命的双钍铱 (ThO 2 /Ir) 灯丝用于电子发射。
电子倍增器
法拉第杯探测器是 SRS RGA 系统的标准配置,可以测量
加热套
O100HJRW 加热器护套配有 Watlow EHG SL10 过程控制器,可提供 210 °C (±3 °C) 的预编程温度。加热器护套采用 PTFE (Teflon) 结构制成,由于其低释气和无颗粒操作,适用于洁净室应用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本,并随附目的地国家/地区的电源线。
有用的功能
所有 RGA 都具有内置的脱气功能。使用电子冲击解吸,清洁离子源,大大降低了离子发生器对背景噪声的影响。
固件驱动的灯丝保护功能持续监控(675 Hz)过压。如果检测到过压,灯丝会立即关闭,以保持其使用寿命。
可编程性
通过
RGA 视窗软件
RGA 系统由在 PC 上运行的实时 Windows 软件包提供支持。直观的图形用户界面允许快速轻松地进行测量。该程序是交互式的,使用户可以控制图形显示。可拆分屏幕进行双模式操作,刻度可设置为线性或对数格式,数据可手动或自动缩放。实时捕获和显示数据,或计划在给定的时间间隔内采集数据,以进行长期数据记录。功能包括用户可选择的单位(Torr、mbar、Pa 和 A)、可编程的音频和视觉警报以及全面的在线帮助。
该软件还允许通过简单的质量标度调整、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整实现完整的 RGA 磁头控制。为了进一步分析,可以将数据文件保存为 ASCII 格式,以便轻松传输到电子表格中。图形图像可以保存为 META 文件或复制到剪贴板以直接导入其他 Windows 程序。该软件还为锁定头部参数提供密码保护,使临时用户无法更改重要设置。SRS 网站上还提供了 LabVIEW 驱动程序。
可选的独立监视器 (PPM100) 可用于在没有主机的情况下控制 RGA。
多头操作
当需要多个 RGA 时,该软件支持多头操作。该软件最多可监控 8 个 ECU。
性能和价值
SRS 系列 RGA 非常适合涉及气体分析、泄漏检测和真空处理的应用。我们提供 100、200 和 300 amu 系统,支持 Windows 软件和选项,包括电子倍增器和用于交流线路操作的内置电源模块。
RGA 系列规格
操作
质量范围
RGA1001 到 100 amu
RGA2001 到 200 amu
RGA3001 至 300 amu
质量过滤器类型四极杆
探测器类型法拉第杯 - 标准。
电子倍增器 - 选择。
解决优于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根据 AVS 标准 2.3)。在整个质量范围内可调至恒定峰宽。
灵敏度 (A/Torr)2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。
用户可在整个高压范围内调节。用 N 2 @ 28 amu 测量,1 amu 全峰宽、10 % 高度、70 eV 电子能量、12 eV 离子能量和 1 mA 电子发射电流。
分钟。可检测分
压5 × 10 -11 托 (FC)。
5 × 10 -14 托 (EM)。
用 N 2 @ 28 amu 测量,1 amu 全峰宽、10 % 高度、70 eV 电子能量、12 eV 离子能量和 1 mA 电子发射电流。
运营压力10 -4 Torr 到 UHV (FC)
10 -6 Torr 到 UHV (EM)
限度。工作温度70℃
烘烤温度300 °C(不带 ECU)
离子发生器
设计开放式离子源,圆柱对称,电子碰撞电离。
材料SS304 结构
灯丝具有固件保护的钍铱(双)。内置1 至 10 W脱气加速。现场可更换。
电子能量25 至 105 V,可编程
离子能量8 或 12 V,可编程
聚焦电压0 至 150 V,可编程
电子发射电流0 至 3.5 mA,可编程
一般的
探头尺寸8.75" 从法兰面到离子发生器顶部
探头插入2.0"
探头安装法兰2.75" CF
最小管内径1.375"
ECU尺寸9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL)
可轻松与探头分离以进行烘烤。
LED指示灯电源开/关、灯丝开/关、脱气开/关、电子倍增器开/关、RS-232 忙、错误、过压、灯丝烧毁。
热身时间30 分钟后质量稳定性 ±0.1 amu
电脑接口RS-232C,28,800 波特,带高级命令集
软件基于 Windows 的应用程序
电力需求24 VDC @ 2.5 安培。公 DB9 连接器。
可选的 110/120/220/240 VAC 适配器。
重量6 磅。
保修单一年零件和人工材料和工艺缺陷
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