MFC300-气体流量控制器

气体流量控制器MFC300 系列气体质量流量计/控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

产品特点

超快响应：5ms 测量响应，300ms控制响应

高重复性，宽量程比

更小体积，安装方便

无需预热，使用便捷

分阶流量控制软件，灵活配置

介质要求  洁净干燥无腐蚀性气体

气体种类  Air，N2，02，Ar，CH4，CO2

测量和控制范围 0.2%-1 00%F.S. （1:500）

准确度  ±0.5%F.S.

重复精度  ±0.5%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可选）

传感器响应时间  5ms

控制响应时间  300ms

预热时间  ≤1s

阀门  常闭式

苏州爱拓利是国内极少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业。其产品的核心部件毛细管柱式传感器和高精度微型气体比例阀均已实现国产化、自研自制率、全制程自主可控，其性能赶超进口同类产品。爱拓利目前已为多家重点大学实验室、科研院所、精密分析仪器厂家、生物制药厂家及、环保设备及光电设备厂商提供流量计/控制器的软硬件配套产品。通过广泛的应用，爱拓利流量计产品的重复性和稳定性得到了充分的验证。爱拓利的愿景是成为一家在流体测控领域具有影响力的创新型企业。我们专注于拥有自主知识产权、纯国产化的核心零部件的开发，以期打破进口产品的技术垄断，摆脱对进口品牌的依赖，大力提升制程和科学仪器中国产化替代水平和应用规模，致力于早日打造出高品质且性能可靠的流体测控产品，为解决我国基础科学及制程领域所面临的“卡脖子”困境贡献一份绵薄之力。