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产品详情

SEC-Z500X多范围/多气体数字式质量流量控制器

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X
提供多气体，多量的解决方案，是一的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属
概要
HORIBA销售量的数字式气体质量流量控制器，包含多气体/多量程功能以实现自由快速更改气体种类或满量程。
压电陶瓷阀实现高精度± 1.0% S.P.，快速响应，有效提高良率及简化备件管理。
特征
高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现所有量程上的高精度。为了更真实的反应实际气体精度，HORIBA STEC监测了不同的工艺气体并创建了针对不同气体的校正数据，建立标准气体管理系统，实现真实气体精度确认。
高速响应
装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改，也能不会影响PID功能。
多气体，多量程解决方案
HORIBA的配置软件可简单快速的更改MFC的规格。更好的是MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举有效减少MFC库存需求，极大减少时间和成本的浪费。
制造: HORIBA STEC