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产品详情

HORIBA SEC-E40 质量流量控制器
堀场HORIBA SEC-E40 适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号

概要
· 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。
· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3
HORIBA SEC-E40 质量流量控制器技术规格

型号	SEC- (质量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (质量流量计)	E40	E50
适用气体种类*1		非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质		SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		2〜99% F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0〜99% F.S.
响应速度		1秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.
直线性		±0.5% F.S.
反复性		±0.2% F.S.
工作差压值值 (适于SEC系列)		10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d)　10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度		5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号		0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜99% F.S.
流量输出信号		0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		1/4SWL 类型

型号	SEC- (质量流量控制器)	E60	E70	E80
	SEF- (质量流量计)	E60	E70	E80
适用气体种类*1		N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀		N₂、O₂、Air、H₂
气体接触部材质		SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		50/100 SLM	200 SLM	300/500 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		5〜99% F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0〜99% F.S.
响应速度		1秒以内(T98)		2秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.		±2% F.S.
直线性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
反复性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
工作差压值值(适于SEC系列)		100〜300kPa(d)	200〜350kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		350kPa(G)以下
耐　压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10^-7Pa・m³/s(He)以下		450kPa(G)加压10分钟减压1%以内
使用环境温度		5〜45℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号		0.25〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5〜99% F.S.
流量输出信号		0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		3/8SWL 类型		1/2SWL 类型

SEC-E40 质量流量控制器
*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：值300kPa(G)；SEC-70/80：值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。

质量流量控制器 SEC-E系列
适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3

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