产品详情
技术参数：
1 能量范围：0 eV ~ 3 keV；
2 工作距离：25 mm ~ 100 mm；
3 偏转角度：±1° @ 5 keV；
4 束流： 20 μA；
5 束流均匀性：< 5%；
6 束斑尺寸：5 mm ~ 25 mm；
7 离子种类：Ar＋；
8 灯丝材料：钨铼合金；
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