M20系列微小气体质量流量计

介质要求 :   非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类 :   内置 98 种气体，请参考背面一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量     程  : 从 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

测量范围：    0.01 ～ 99% 满量程

显示流量 ：   128% 满量程

显 示 屏：    带按键，标准为 LCD 显示屏，可选 TFT 彩色显示屏

显示方式 ：   同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精     度  ： ± （0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程） 精度升级部分见左下± （0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）累计流量精度    流量精度之外增加 ± 0.5 % 额外误差

重 复  性：   ± （0.2 % 读数 +0.02 % 满量程）

工作压力：    1 MPa 表压（可选 2 MPaG 高压系列）

操作压力 ：   如果不做真空特殊标定，建议在绝压 80 KPaA 以上使用；其他真空压力建议做特殊标定

压力精度：     ±0.5 % 读数（读数＞  1Atm），或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）

进出口压差  ：  0.5 MPa

数据刷新频率：    数字信号 40 Hz @ 19200 波特率；模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率 ：   10 Hz

数字输入 / 输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232 / RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模拟输入 / 输出信号：    0 - 5 VDC、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC、4 - 20 mA

可选第二路模拟输出 ：   质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加  ± 0.1 % 量程误差

 供电电压：7 - 30 VDC （如选 4 - 20 mA 输出，须为 15 - 30 VDC） 

供电电流：40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

输出接口：DB9，可选 DB15、6 针工业接头、8 针 Mini-DIN