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产品详情

产品特点

u 7寸彩色触摸屏互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。

u PLC工控机控制整个去胶过程，手动、自动两种工作模式。

u 石英真空舱，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

u 可选用石英舟，更适合晶元硅片去胶应用。

u 采用花洒式多孔道进气方式，改变单孔进气不均匀问题。

u 采用防腐数字流量计，实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体。

u HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

u 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。

u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

u 安全保护，舱门打开，自动关闭电源，机器运行、停止提示。

技术参数

型号	5系列	5plus系列
舱体尺寸	D300xΦ150mm	D300xΦ150mm
舱体容积	5.2L	5.2L
舱体材质	石英玻璃	石英玻璃
射频电源	40KHz	13.56MHz
匹配器	自动匹配	自动匹配
激发方式	电感耦合（ICP）	电感耦合（ICP）
射频功率	10-1000W可调	10-300W可调（可选10-600W）
处理尺寸	Φ150m	Φ150m
气体控制	质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路）流量范围0-500SCCM（可调）
工艺气体	Ar、N₂、O₂、H₂或其他混合气体等（可选）
时间设定	1-99分59秒
真空泵	抽速约8m³/h
气体稳定时间	1分钟
极限真空	≤1Pa
产品尺寸	L550xW550xH420mm
包装尺寸	L650xW610xH620mm
电源	AC220V 50/60Hz，1152/452(752)W所有配线符合《低压配电设计规范GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
整机重量	52kg