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产品详情
颗粒计数器对于半导体、制药和精密设备的清洁度管理。RION为各种目的提供粒子计数器，例如液体粒子计数器作为电子材料开发的基本设备，用于在制造半导体、显示面板过程中保持高清洁度的液体粒子计数器。可检测光阻产品、SOG 、有机溶剂、纯水、药液等产品中小至20nm的颗粒。在国内，而且在国际上，我们的产品得到了客户的好评。
半导体制造过程中会用到各种化学品试剂和药液，如硝酸、氢氟酸、清洗液和刻蚀液等，其颗粒浓度会影响芯片的良率。
RION的液体颗粒度仪采用光散射法原理，可满足20nm-150um的粒径测量需求。
日本RION理音液体颗粒计数器 KS-42AF二、技术规格
KS-19F 粒径0.03-0.13um
KS-18F 粒径0.05-0.2um
KS-42AF 粒径 0.1-0.5um
KS-42BF 粒径0.2-2um
KS-42C 粒径0.5-20um
KS-42D 粒径 2um-100um（可扩展150um）
日本RION理音液体颗粒计数器 KS-42AF三、应用
检测制程中电子化学品，高纯化学试剂，化学药液和纯水等颗粒数量。
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