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产品详情
小型高温金属蒸镀仪 ：是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压，电流反馈，样品台旋转，样品高度调节及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
小型高温金属蒸镀仪：技术资料
控制方式
| 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
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加热方式
| 数字式功率调整器
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镀膜功能
| 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
|
功率
| ≤1200W
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输出电压电流
| 电压≤12V 电流≤120A
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真空度
| 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa
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挡板类型
| 电控
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真空腔室
| 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
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样品台
| 可旋转φ62 （可安装φ50基底）
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样品台转速
| 8转/分钟
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样品蒸发源调节距离
| 70-140mm
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蒸发温度调节
| ≤1800℃
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支持蒸发坩埚类型
| 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳
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预留真空接口
| KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
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可选配扩展
| 机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
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