TL1400双温区CVD系统

     TL1400双温区CVD系统

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

TL1400双温区CVD系统技术参数：

1.额定温度：1350℃                         2.温度：1400℃

3.电压：220V                               4.加热段：300mm     

5.加热元件：硅碳棒                       6.热电偶：S型       

7.温控方式：智能化30段可编程控制             

8.升温速率：≤20℃/min       推荐升温速率：≤10℃/min   

组件配置：

控温仪表： 采用宇电程序控温仪表

1、50段程序控温智能PID调节。

具有过温保护、断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路会自动切断，（当电炉温度超过1620度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

二、开门保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。

三、炉膛材料：采用氧化铝纤维炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。

四、加热元件：采用优质发热元件，使用寿命长。

五、漏电保护功能： 该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

六、软件控制系统（选购）：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

七、控制系统：1、电器：正泰，    2、可控硅：德国西门康106/16E，   3 触发器：移相触发。

技术参数表（详细技术资料请联系业务人员，可接受定做）