吉时利4200A-SCS半导体参数分析仪

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程，快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。

主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

100 fA测量分辨率

选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率

10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

100 μF负载电容

四象限操作

2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)
AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

1 kHz - 10 MHz 频率范围

± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)

选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)

两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

200 MSa/s，5 ns 采样率

±40 V (80 V p-p)，±800 mA

瞬态波形捕获模式

任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元(PGU)
两个高速脉冲电压源通道

±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针

把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)

在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安

降低电缆电容效应

典型应用

MOSFET, BJT 晶体管
材料特性分析
非易失性存储设备
电阻率系数和霍尔效应测量
NBTI/PBTI
III-V 族器件
失效分析
纳米器件
二极管和pn 联结
太阳能电池
传感器
MEMS 器件
电化学
LED 和OLED