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掌上真空微型探针台：一体式不锈钢腔体，手动调节探针，正面留有观察窗，反面留有透光孔。高低温配置

KT-Z4019MRL4T是一款便携式探针台，结构小巧，功能使用，成本较低，可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构，使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来，可以应用于辐照实验中，该探针台也可放置高低温箱中，用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制屏蔽盒，增加了抗干,扰,能力，其测试数据更加准确。

掌上真空微型探针台KT-Z4019MRL4T

真空腔体
类型	高温型室温到400℃	高低温型室温到400℃ 室温到-190℃
腔体材质	304不锈钢 6061铝合金可选
腔体内尺寸	127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔体重量	不锈钢材质约1.5KG 铝合金材质约0.5KG
腔体上视窗尺寸	Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口	6mm快拧或 6mm快插
腔体冷却方式	腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压	≤0.05MPa
腔体真空度	机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质	不锈钢银铜合金纯银块	银铜合金纯银块
样品台尺寸	26x26mm
样品台加热方式	电阻加热	电阻加热液氮制冷
样品台-视窗距离	11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器	PT100型热电阻
样品台温度	室温到400℃	室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差	±0.5℃
样品台升温速率	高温100℃/min 低温7℃/min
温控仪
温度显示	7寸人机界面
温控类型	标准PID温控 +自整定
温度分辨率	0.1℃
温控精度	±0.5℃
温度信号输入类型	PT100 （可选K S B型热电偶）
温控输出	直流线性电源加热	直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能	温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口
温控器尺寸	32cmX170cmX380cm
温控器重量	约5.6KG
探针
电信号接头	配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头香蕉插头线长1.2米
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量	4探针（可扩展5探针）
探针材质	镀金钨针（其他材质可选）
探针尖	10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程	20mm ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度	≥500μm
R轴移动行程	120° ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度	≥500μm
Z轴移动行程	2mm ±1mm
Z轴控制精度	≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）