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产品详情
郑科探 外置式高精度气体配比器 主要用于气体流量测试，并按比例混合气体，为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境，控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。
该气体配比器可以外接两种或多种气体，采用CS200或CS100质量流量计，气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强，阀门采用高压球阀做截止阀，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头，方便连接且不易泄漏。
1. 半导体制造行业中气体流量控制
2. 各种真空镀膜设备；
3. 特种材料表面处理
4. 气体燃烧控制
5. 混合配气系统
6. 泄漏探测系统
7. 环境检测与分析设备
8. 分析仪器的气体流量计量与控制
9. 化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所。
郑科探 外置式高精度气体配比器 技术参数：
气体通道 | 2进1出（KT-C2ZS） | 3进1出（KT-C3ZS） | 4进1出（KT-C4ZS） |
可根据需求定制 | |||
产品类型 | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | ||
可选量程 | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | ||
产品精度 | 高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S | ||
重复精度 | 高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S | ||
线性 | 高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. | ||
响应时间 | 高精度型≤1sec 普通型≤2sec | ||
工作温度范围 | (5~45)°C | ||
供电电源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||
功耗 | 40W | ||
进气口压 | ≤0.6MPa | ||
连接管道 | 316不锈钢管道 | ||
截止阀类型 | 电磁阀 | ||
单向阀开启压力 | 0.02Mpa | ||
压力显示量程 | 0-0.6Mpa | ||
控制方式 | 7寸触摸屏智能调节 | ||
时间设定 | 0-32000分钟 | ||
清洗功能 | 一键清洗 | ||
程序控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | ||
压力显示 | 不锈铡机械压力表 | ||
气体混合罐 | 有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀） | ||
流量累计 | 有（累计当前运行总流量） | ||
可选进出气口接头形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 | ||
抗电磁干扰 | 有 | ||
外形尺寸 | 约500x380x380mm | ||
重量 | 18KG～20KG | ||
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