X射线分析显微镜

概要

　　一代的X射线荧光分析显微镜XGT-7000开创了科学分析的新时代。它将光学图像与元素分析地结合，为科研工作者的研究和分析提供了新的分析手段。

　　SDD检测器保证了高速、高精度元素面扫描；高能量分辨率，高计数率的测量，且无需液氮。

　　双真空式设计确保用户可以在几秒钟内完成样品室内部氛围的切换（大气或真空）。即使测量含水样品、生物样品时也可以保证测量所有元素的高灵敏度。

　　*的硬件设计确保了XGT-7000操作的灵活性和广泛的应用范围。通过软件控制x射线导管在10 μm和1.2 mm间切换，以保证获得测量条件，无论是微观到宏观。

　　与x射线导管同轴的CCD相机，可以迅速、精确地定位感兴趣区域。

·单点及多点自动分析

　　单点和自动多点分析功能使得无论是从单个分析位置或是用户定义的一系列位置上均可以获得高质量的谱图。可自动标注元素谱峰。使用基本参数法或单标样基本参数法或是标准样品校正曲线法定量计算，可测量ppm级的含量。膜厚分析软件可以分析nm级或μm级样品的多层膜厚。

·高光谱面扫描

　　SmartMap软件在每个像素点采集元素谱图。采集结束后，用户可以根据自己的分析，添加或删除某个元素面分布图，实现已有数据实现脱机分析。

　　X射线透射图像有利于用户观察样品内部构造，实现真正的无损内部观测。

特征

　　有着诸多创新的XGT-7200在众多领域有着广泛的应用：电子电器、发动机磨损分析、法医科学、地质矿物、医药、博物馆、冶金、生物等。XGT-7200的灵活设计，保证用户通过简易的操作即可获得高质量的分析结果，无论是分析大区域，还是对微区细节分析，或是同时采集X射线荧光图像和X射线透过像。

*的空间分辨率

　　HORIBA*的X射线光管技术提供高空间分辨率微区XRF分析，X射线光斑直径小到10微米。这种强度的超细光斑，可进行快速无损的微细结构分析。

*X射线透过像

　　同时采集XRF图像和X射线透过像的功能，可以用来分析无法用肉眼观察到的样品内部构造和元素组成。采用超细垂直的X射线束，即使观察不平坦样品也可以获得清晰的内部图像。

*双真空模式

　　无二的双真空模式设计- 彼此间的切换在数秒内即可完成。

　　全真空模式，整个样品室处于真空氛围以保证轻元素分析的高灵敏度。

　　局部真空模式，样品处于大气氛围中，适宜于含水样品的分析，如生物组织、文物碎片和馆藏文物等。

*完整地分析整个样品

*整合数据采集和分析的操作软件

　　界面友好的操作软件允许用户方便的控制硬件、选择测量区域和全数据分析。功能包括：自动标定谱峰、定性定量测量、RGB图像合成，线分析等。大尺寸的样品室使得分析整个样品成为可能，用10微米束斑可以分析微小区域甚至到测量大至10cm x 10cm的区域。

技术参数：

测量元素：

　　Na~U

X射线管：

　　铑（Rh）靶 /管电压 50 kV / 管电流 1 mA

X射线荧光检测器：

　　SDD硅漂移检测器

透过X射线检测器：

　　NaI（Ti）晶体

X射线导管：

　　单毛细管 10μm / 100μm 无滤光片

光学图像：

　　样品整体光学像及共轴放大图像

样品台尺寸：

　　XY：100mm×100mm

样品仓：

　　全真空模式/ 真空 300mm×300mm×80mm

信号处理：

　　数值脉冲处理器（INCA处理器 ）

定性分析：

　　自动定义谱峰/ KLM线标注/ 谱峰查找/ 谱峰匹配

定量分析：

　　无标样基本参数法/ 标准无标样基本参数法/ 标准文件匹配基本参数法/ 校正曲线/ 多层膜基本参数法/ 多点分析（最多5000）/ 多点结果输出至Excel®

面扫描功能：

　　透过X射线像/ 元素面分布图/ 谱图面扫描 /矩形面扫描/ 生成谱图/ RGB合成/ 标尺/ 线分析

其它功能：

　　可同时开启XGT-5200操作软件