供应Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪,Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪供货期-仪表网

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规格
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好处

从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板
PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件
通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计最小化总体拥有成本；无需泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
通过定制配方优化增强*生产能力
通过即时现场专家响应保护关键过程需求

典型应用

PVD 和溅射过程模块
预清洗模块
非群集 PVD 工具
夹钳式除气模块

规格

类型		1-100 amu
分辨率¹		<1 @="" 10%="" measured="" at="" mass="" 4,="" 20,="" 28="" and="">
检测器类型		Off-axis FC and microchannel plate EM
温度系数²		<1% of="" peak="" height="" per="">
质量位置稳定性³		<0.1 amu="" over="" 24="">
峰比率稳定性⁴		<2% over="" 24="">
灵敏度（FC 模式）⁵		≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)
灵敏度（标称）⁵		≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)
最小可检测分压⁶（FC 模式）⁵		≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)
最小可检测分压⁶（EM 模式）⁵		≤6E-12 Torr (8E-12 mbar)
工作压力（FC 或 EM 模式）		20 mTorr (2.6E-2 mbar)
工作压力（线性操作）		10 mTorr (1.3E-2 mbar)
传感器工作温度		150°C
烘烤温度⁷		200°C
检测限值⁸		10 ppm
环境工作温度		5 – 50°C
功率输入		20 – 30 V (dc), 30W max
以太网通信接口		Standard: CAT5e Ethernet cable connection
标准 I/O		One analog input, two digital inputs, one relay, 24 V at 0.5 A
扩展 I/O（可选）		Four analog inputs, four analog outputs, four relays, 24 V at 0.5 A, 12 digital inputs or outputs

¹根据 1993 AVS 建议做法²Ar 处于 1E-4 Torr 下的 FC 信号³恒定 STP 时 Ar 处于 1E-4 Torr 下的 FC 信号⁴质量峰比率 2/40、4/40、20/40、28/40⁵处于 40 eV/200 μA 时⁶通过标准噪声偏差除以在 4 秒保压时间时所测传感器的灵敏度计算出的 MDPP。⁷拆除电子元件后⁸处于 1 – 5 mTorr 流程压强时⁹为确保 24 小时质量位置稳定性而激活的峰值锁定。

手册