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产品详情
FR1000 在半导体和其他清洁的天然气输送超高纯度的调节过程. 低到中等流量，这个系列的阀门在阀歧管箱，煤气柜，和其他半导体制造等行业非常广泛的应用
Veriflo部门的FR1000系列调节阀是非束缚隔膜的减压阀， 提供低至中等流量的能力与入口压力为3500 psig.FR1000提供工艺气体导致在一个稳定的流量和下游系统使其成为阀箱、气瓶柜优良的选择压力提供正确的控制，和许多半导体制造中的应用.
标准的哈氏合金C-22®隔膜和综合过滤促进寿命长性能的同时，金属对金属密封膜片以获得高度密封性。
FR1000提供相同的质量、稳定性和性能水平的派克产品的预期，在一个高度竞争的价格点.新生产线补充了我们现有的，保费qr4000和hf1200系列稳压器，和组合，将广泛应用在半导体制造中的应用。
市场：
• 半导体制造
• 天然气公司
特点/好处：
• 金属-金属膜片密封实现泄漏完整性
• 制造超高纯度气体输送应用
• 10英寸RA表面光洁度
• 钝化和电解抛光
• 综合过滤
• 标准hastelloy® 膜片
应用：
• 工具挂钩
• 阀门歧管箱
• 处理气体柜
• “使用点”压力调节
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