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产品详情
MFC330 热式气体质量流量计/控制器
MFM / MFC330 系列气体质量流量计/控制器, 其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330依然能够保持稳定的流量控制。
主要参数 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE | |
介质要求 Applicable media | 洁净干燥气体 Clean, dry gases |
气体种类 Gas type | 98+气体可选 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale（N2 equivalent） | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
测量范围measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范围 Control range | 1% - 1 00% F.S. (1:100) |
准确度 Accuracy | 标准 Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5% |
重复精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
线性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制响应时间 Settling time (in control) | <3秒 |
预热时间 Warm-up time | 5 min (T95), 30分钟 30min for optimum accuracy |
阀门Valve function | 常闭式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
机械特性 MECHANICAL | |
工作压力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作压差范围 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作温度范围Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (环境和气体 ambient and gas) |
湿度范围 Relative humidity range | 0 ~ 98% 无凝露 No-condensing |
气路接头类型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快拧 (可选) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
气体接触材质Material | 氟橡胶、304/316不锈钢 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材质Seals | 氟橡胶 FKM |
防护等级 Ingress protection (housing) | IP40 |
安装方式 Mounting | 水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
|
重量 Weight | 0.96 kg |
电气和通讯 COMMUNICATIONS | |
电气连接接口类型Electrical connection | DB – 9公头 (Male) |
模拟信号 Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制） |
输入输出阻抗 Impedance resistance | 输入阻抗>10MΩ,输出阻抗<1KΩ |
模拟数据更新频率Analog data update rate | 200Hz |
数字信号 Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN |
通信速率 Digital data update rate | 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps（用户可修改） |
电源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200mA |
显示更新频率Display update rate | 50Hz |
模拟信号精度 Analog signal accuracy | ±0.05%F.S. |
特征 FRATURE | |
标况 STP reference conditions | 20℃， 1 atm |
气体选择Gas Select | 可选，具体参考说明书气体系数 |
软件Software | Aitoly分阶流量软件 |
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