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微型高低温真空探针台:KT-Z4019MRL4T是一款便携式探针台,结构小巧,功能使用,成本较低,可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构,使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来,可以应用于辐照实验中,该探针台也可放置高低温箱中,用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制屏蔽盒,增加了抗干,扰,能力,其测试数据更加准确。
微型高低温真空探针台 技术参数
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-190℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 6061铝合金 可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) | |
腔体抽气口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体真空测量口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体进气口 | 6mm快拧 或 6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) | |
样品台 | ||
样品台材质 | 不锈钢 银铜合金 纯银块 | 银铜合金 纯银块 |
样品台尺寸 | 26x26mm | |
样品台加热方式 | 电阻加热 | 电阻加热 液氮制冷 |
样品台-视窗 距离 | 11mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm) | |
样品台测温传感器 | PT100型热电阻 | |
样品台温度 | 室温到400℃ | 室温到400℃ 室温到-196℃ |
样品台测温误差 | ±0.5℃ | |
样品台升温速率 | 高温100℃/min 低温7℃/min | |
温控仪 | ||
温度显示 | 7寸人机界面 | |
温控类型 | 标准PID温控 +自整定 | |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
温控精度 | ±0.5℃ | |
温度信号输入类型 | PT100 (可选K S B型热电偶) | |
温控输出 | 直流线性电源加热 | 直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 | |
温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
温控器重量 | 约5.6KG | |
探针 | ||
电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 | |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA | |
探针数量 | 4探针(可扩展5探针) | |
探针材质 | 镀金钨针 (其他材质可选) | |
探针尖 | 10μm | |
手动探针移动平台 | ||
X轴移动行程 | 20mm ±10mm(需手动推动滑台) | |
X轴控制精度 | ≥500μm | |
R轴移动行程 | 120° ±60°(需手动旋转探针杆) | |
R轴控制精度 | ≥500μm | |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm | |
Z轴控制精度 | ≤50μm(需手动螺纹调节探针杆) |
便携式六要素自动气象站 便携式多要素气象站 便携式五要素气象站 移动应急自动气象站 观测自动应急气象站 管式土壤含水率监测站 地表裂缝监测站 GNSS地表自动位移监测站 翻斗式雨量监测站 公园生态环境监测系统 小型超声波气象站 便携式气象测定仪 农田病虫害监测系统 浮标水质监测设备 多参数水质在线监测仪 大坝安全监测站 鱼塘水质监测设备 河道水质监测设备 森林气象站 金属款气象传感器 过程校验仪 超声波雪深监测仪 一体化取水水质监测微系统 超声波一体式气象站 气象土壤墒情在线监测站 太阳能校园气象站 水温电导率ph在线分析仪 在线叶绿素分析仪 在线叶绿素水温分析仪 在线叶绿素监测仪 水质叶绿素在线分析仪 污泥浓度在线监测仪 污泥浓度在线分析仪 水库大坝渗流压力监测系统 全自动孢子捕捉仪 化工厂防爆型气象站 户外电能质量分析仪 全自动负氧离子监测站 检测非洲猪瘟的仪器 水质监测站设备 雨水情监测预警系统 水库雨水监测系统 降雨自动监测系统 降雨监测系统 雨量测量站 多点无线土壤墒情监测设备 土壤墒情无线监测系统 一体式土壤墒情监测站系统 多深度土壤墒情监测站系统 智能土壤墒情监测站系统