产品详情
使用新开发的X射线聚光用多毛细管的产品阵容诞生了。另外,以X射线检测结构为中心,对各类元件进行更佳优化,从而大幅提高了检测灵敏度,在不损失检测精度的前提下实现了的高处理能力。并且,对设备进行了重新设计,使得样本室的使用,以及对检测点的检查变得更为容易。
通过采用新开发的多毛细管,以及对探测器的优化,在实现照射半径等同于旧有型号FT9500X为30 μm(设想FWHM: 17 μm)的基础上,进一步将处理能力提高到了2倍以上。
针对检测样本的不同种类,可在下列3种型号中进行选择。
· 测量引线架、连接器等各类电子元器件的微型部件、超薄薄膜的型号
· 能够处理尺寸为600 mm×600 mm的大型印刷电路板的大型印刷电路板用型号
· 适合对陶瓷芯片电极部分中,过去难以同时测量的Sn/Ni两层进行高能测量的型号
放大了开口,同时样本室的门也可单手轻松开闭。从而提高了取出、放入检测样本的操作简便性,并且该密封结构也大大减少了X射线泄漏的风险,让用户放心使用。
通过设置大型观察窗、修改部件布局,使得样本室门在关闭状态下亦可方便地观察检测部位。
使用了分辨率比以往更高的样本观察摄像头,采用全数码变焦,从而消除位置偏差,可以清晰地观察数十μm的微小样本。
另外,亦采用LED作为样本观察灯,无需像以往的机型那样对灯泡进行更换。
将各类检测方法、检测样本都以应用程序图标的形式进行了登记。图标皆为检测样本的照片、多层膜的图示等,因此登记、整理起来就很方便,从而使得用户可以不走弯路,直接进行检测。
使用检测向导窗口来指导操作。通过与检测画面联动,逐步引导用户执行当前所需进行的工作。
型号 | FT150(标准型) | FT150h(高能量型) | FT150L(大型线路板对应) |
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测量元素 | 原子序数13(Al)~92(U) | ||
X射线源 | 管电压:45 kV | ||
Mo靶 | W靶 | Mo靶 | |
检测器 | Si半导体检测器(SDD)(无需液氮) | ||
X射线聚光 | 聚光导管方式 | ||
样品观察 | CCD摄像头(100万像素) | ||
对焦 | 激光对焦、自动对焦 | ||
样品尺寸 | 400(W) × 300(D) × 100(H) mm | 400(W) × 300(D) × 100(H) mm | 600(W) × 600(D) × 20(H) mm |
工作台行程 | 400(W) × 300(D) mm | 400(W) × 300(D) mm | 300(W) × 300(D) mm |
操作系统 | 电脑、22英寸液晶显示屏 | ||
测量软件 | 薄膜FP法(最多5层膜、10元素)、检量线法、定性分析 | ||
数据处理 | Microsoft Excel、Microsoft Word 安装 | ||
安全功能 | 样品门联锁 | ||
消耗电量 | 300 VA以下 |
能谱匹配软件(材料辨别)
块体FP(测量金属成分比)
样品操作限制设置
晶圆治具(FT150/FT150h)
触摸板
信号灯
打印机
紧急停止开关箱
FT150利用多毛细管所产生的照射直径为30 µm的高强度X射线光束,导线架、微小连接器、柔性电路板等微小零件及超薄镀层的高精度分析评价。
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