产品详情
设备名称 | 小型PECVD管式炉系统——OTF-1200X-50S-PE (2019.12.23—科晶实验室审核) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
产品特点 | ▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度; ▪ 整套设备尺寸小巧; ▪ 可通过工艺调节来控制化学计量; ▪ 可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加热炉参数 | ▪ 温度:1100℃(<> ▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃; ▪ 输入电源:208- 240V AC,功率:1.2KW; ▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命。
更多参数请联系科晶销售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
射频电源 | ▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。
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真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵; ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵; ▪ 真空度可达10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
供气系统 | ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%); ▪ 流量范围:
▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz; ▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管; ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出; ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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产品尺寸和重量 | ▪ 尺寸:1500mm L´600mm W´1200mm H ▪ 净重:75 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
认证 | ▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
承诺 | ▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件) |
浮标水质监测设备 多参数水质在线监测仪 大坝安全监测站 鱼塘水质监测设备 河道水质监测设备 森林气象站 金属款气象传感器 过程校验仪 超声波雪深监测仪 一体化取水水质监测微系统 超声波一体式气象站 气象土壤墒情在线监测站 太阳能校园气象站 水温电导率ph在线分析仪 在线叶绿素分析仪 在线叶绿素水温分析仪 在线叶绿素监测仪 水质叶绿素在线分析仪 污泥浓度在线监测仪 污泥浓度在线分析仪 水库大坝渗流压力监测系统 全自动孢子捕捉仪 化工厂防爆型气象站 户外电能质量分析仪 全自动负氧离子监测站 检测非洲猪瘟的仪器 水质监测站设备 雨水情监测预警系统 水库雨水监测系统 降雨自动监测系统 降雨监测系统 雨量测量站 多点无线土壤墒情监测设备 土壤墒情无线监测系统 一体式土壤墒情监测站系统 多深度土壤墒情监测站系统 智能土壤墒情监测站系统 小型防爆气象站 国产罐区防爆气象站 防爆自动气象站设备 防爆型小型气象站 化工防爆自动气象站 自动化虫情测报灯 负氧离子观测系统 景区负氧离子监测设备 国产负氧离子大气监测系统 天然氧吧负氧离子监测站 天然氧吧负氧离子监测设备 土壤墒情实时监测设备 农业气象站监测设备