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产品详情
进口RGL JOINT质量流量控制器GF80
・可以在不停止设备运行的情况下轻松更改气体类型和流量。
• 可以在不损失精度的情况下更改满刻度值。
・无需为每个规格保留库存。
・诊断功能可以检测主机的异常。
・MultiFlo™技术
・保证零点稳定性的温度补偿电路
・与传统型号的高兼容性
・橡胶密封或金属密封
・各种数字通信、ProFibus、RS485的各种模拟I/O（4-20mA、0-20mA、0-5vdc），
具有专用服务端口的诊断功能，方便更改气体类型和流量值
您可以轻松操作多气体和多流量软件，只需将其下载到您的 PC 并将其连接到 MFC，而无需将其从管道上拆下。
| 用法 | ||
| ||
规格表 | |||||
| 流速 | 控制器 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 | |||
| 仪表 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 | ||||
| 准确性 | ±1%SP (35-FS) ±0.35%FS (2-35%FS) | ||||
| 再现性 | <±0.2%SP | ||||
| 环境温度范围 | 5-50℃ | ||||
| 外部泄漏率 | GF40 1×10 -10 Pa・m3 / s He GF80 1×10 -11 Pa・m3 /s He | ||||
| 输入/输出 | 0-5VDC, 4-20mA, 0-20mA | ||||
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