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液体流量计 SLQ-QT105

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更新时间:2024-09-27

有效日期:还剩90

产品详情

液体流量计 SLQ-QT105

针对半导体应用

SLQ-QT105针对要求苛刻的涂料系统的定做,是高达120 ml/min流量的烃基液体的半导体级-传感器解决方案。

该传感器基于Sensirion成熟的热式传感器技术,开辟了灵敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速响应时间有助于高度动态过程的准确监测,如快速分配操作。该传感器配备4x3mm PFA管件,无运动部件,通过一个笔直的流道壁进行非侵入性测量。所提供的智能数字接口(如RS485)可实现具有总线能力的远距离通讯。

对于120 ml/min流量的水基液体或高粘度液体,请参阅我们的液体流量计SLQ-QT500。


性能参数

  • 烃基液体的流量:120 ml/min
  • 适用于光致抗蚀剂和溶剂
  • 低至流量的灵敏度
  • 快速响应时间低至30 ms
  • RS485、USB或0-10 V模拟电压输出
  • 的耐化学性
  • 惰性触液材质:PCTFE、PFA和石英玻璃材料
  • 保证纯度
  • 笔直流道,无运动部件
  • 工作压力:3 bar(可按要求提供高压强等级)

应用

  • 半导体过程控制
  • 光刻胶分配
  • 快速给药操作

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