产品详情
品牌:恩科优(N&Q)
型号:NXQ400-8
产地:美国
恩科优光刻机分为半自动和全自动两大系列。其中,N&Q4000系列光刻机是以半自动系统为主。该系统*的操作性,超高的分辨率,均匀的光学系统,现代*的接近式和接触式光刻及超高的性价比,使恩科优光刻系统已经被全国各地众多企业、研发中心、研究所和高校采用,并成为他们光刻系统的;
二、技术参数:
1、芯片尺寸:5mm~200mm的圆片/方片和不规则碎片(支持对不规则碎片的特殊卡盘设计);
2、曝光波长:350nm-450nm(其它波长可选配);
3、汞灯功率:350W/500W(其它功率可选配);
4、分辨率:优于0.5um;
5、曝光模式:支持接近式曝光,各种接触式(真空接触、软接触、硬接触等)曝光;
6、出射光强范围:10mW/cm2~55mW/cm2@405nm;
7、支持恒定光强或恒定功率模式;
8、曝光时间:0.1~999.9s;
9、对准精度:双高清彩色CCD + 双高清彩色监视器,对准精度可达到0.4微米内;
10、掩膜尺寸:2 x 2英寸到 9 x 9英寸(2 x 2英寸需要掩膜转换器);
11、光强均匀性Uniformity:
<±1% over 2” 区域;
<±2% over 4” 区域;
<±3% over 6” 区域;
12、双面光刻:具备背面红外对准(IR BSA)和光学背面对准(OBS BSA),双面对准精度≤2μm;
13、电源:高灵敏度光强可控电源。
可选型号:
NXQ400-6
NXQ400-8
NXQ800-6
NXQ8006 Sapphire
NXQ800-8
三、产品特点:
可选支持单面对准和双面对准设计;
高清晰彩色双CCD镜头采用的分裂视场显微镜镜头(基于无限远修正的CCD镜头设计);双头高清全彩物镜(单视场或分裂视场可供用户灵活选择);
高清彩色双显示屏;
全新气动轴承导轨设计,高精准,低磨损,无需售后维护的;
具有自动执行楔形误差补偿,并在找平后自动定位功能;
操作简易,具有支持多操作员同台使用的友好操作界面;
操控手柄调控模式的设计;
采用LED穿透物镜照明技术,具有对准亮度;
采用基于无限远修正的显微镜镜头架构;
抗衍射反射的高效光学光路设计;
带安全保护功能的温度和气流传感器;
全景准直透镜光线偏差半角: <1.84度;
设备稳定性,耐用性超高;
多参数水质在线监测仪 大坝安全监测站 鱼塘水质监测设备 河道水质监测设备 森林气象站 金属款气象传感器 过程校验仪 超声波雪深监测仪 一体化取水水质监测微系统 超声波一体式气象站 气象土壤墒情在线监测站 太阳能校园气象站 水温电导率ph在线分析仪 在线叶绿素分析仪 在线叶绿素水温分析仪 在线叶绿素监测仪 水质叶绿素在线分析仪 污泥浓度在线监测仪 污泥浓度在线分析仪 水库大坝渗流压力监测系统 全自动孢子捕捉仪 化工厂防爆型气象站 户外电能质量分析仪 全自动负氧离子监测站 检测非洲猪瘟的仪器 水质监测站设备 雨水情监测预警系统 水库雨水监测系统 降雨自动监测系统 降雨监测系统 雨量测量站 多点无线土壤墒情监测设备 土壤墒情无线监测系统 一体式土壤墒情监测站系统 多深度土壤墒情监测站系统 智能土壤墒情监测站系统 小型防爆气象站 国产罐区防爆气象站 防爆自动气象站设备 防爆型小型气象站 化工防爆自动气象站 自动化虫情测报灯 负氧离子观测系统 景区负氧离子监测设备 国产负氧离子大气监测系统 天然氧吧负氧离子监测站 天然氧吧负氧离子监测设备 土壤墒情实时监测设备 农业气象站监测设备 标准农业气象站