069 光刻机视像自动对准系统 视觉系统

1.1 简介

采用工业相机配合视觉软件实现MICRALIGN 400,500,600,700系列光刻机的自动对位。改造后自动控制系统与机台原有操控系统兼容，可自由切换。系统可接入车间生产管理平台，自动下载工艺参数，上传机台动作数据。改造方便，性价比高。

1.2功能特点

1)实现自动获取图像，按照设定条件进行十字标识的位置获取；

2)系统发出控制脉冲，模拟人手操作调节控制片平台或版平台移动；

3)对位精度在1um以内，20S内完成自动对位过程；

4)模拟曝光键、微调键功能；

5)人工调节操纵杆对位和自动视像对位功能切换；

6)实现智能自动对位规则、数据、图片截图保存；

7)记录自动曝光片数、花篮位置、光刻版统计、样片提醒功能；

8)可以根据设定的曝光片数加工，数量到达后发出报警并自动切换到人工对位。人工曝光完成后，再自动切换回自动对位曝光。

9)支持扫码枪扫码输入，自动定位视像存储和查询，数据可上传到MES系统，可以读取MES系统数据实现自动录单和光刻版号和批号的对比功能，识别加工设备、光刻版管理功能。

10)模拟设备上数字小键盘功能。（实现设定曝光量，调节机偏功能）。

11)报警功能：25S内无法完成对位报警提示，大于75分贝语音提醒。

12)具有分级管理权限，使用界面和维修、工艺、程序界面隔离。

13)具有紧急停止中断功能，具备紧急按钮。

14)更换品种后对准识别图形自动更换。

15)加工批次连接MES，建立文件夹自动储存批次光刻版信息等加工信息以EXCEL文件保存，方便查询。

16）实现250的机偏调整功能。

17）具备标识图形和对准图形的对准中心识别功能。