产品详情
德国SPS-POLOS旋涂机SPIN200i为小批量生产而设计
POLOS 为半导体、生命科学、食品、实验室和制药行业提供设备,特别是为大学、研发机构和小型生产设施提供支持。我们的产品组合包括用户友好和高度耐用的系统,主要应用于光刻和配置工艺领域。POLOS 公司成立于 2003 年,第一条产品线是单晶片旋转涂层系统。
主要产品:
SPS-POLOS旋涂机
SPS-POLOS匀胶机
SPS-POLOS光刻机
SPS-POLOS Spin200i旋涂机
POLOS Spin200i 是一种多功能、高质量的基材旋涂机,由 PTFE 或 NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。台式型号可手动或自动(可选)分配化学品。
适用于镀膜、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。
适用于最大 8 英寸(200 毫米)晶圆
适用于最大 6 英寸 x 6 英寸(150 毫米)基板
材料 天然聚丙烯 (NPP)
12.000 RPM(取决于基底/卡盘)
高加速度和高精度
手动化学品分配
CW 和 CCW 旋转
带可定制图标的彩色触摸屏
USB 端口
型号示例:
SPS-POLOS旋涂机SPIN150X
SPS-POLOS旋涂机SPIN200i
SPS-POLOS旋涂机SPIN4000A
SPS-POLOS旋涂机SPIN5000A
德国SPS-POLOS旋涂机SPIN200i为小批量生产而设计
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