SENTECH-光谱椭偏仪 - (SENpro)

成本效益

● SENpro 是具成本效益的光谱椭偏仪，同时不影响测量性能。

可变入射角

● 光谱椭偏仪 SENpro 包括可变入射角的角度计，40°—90°，步进值 5°，用于优化椭偏测量。

步进扫描分析器

● SENpro 具有步进扫描分析器。在数据采集过程中，偏振器和补偿器固定，以提供高的椭偏测量精度。

● 光谱椭偏仪 SENpro 具有操作简单，测量速度快，能对不同入射角的椭偏测量数据进行组合分析等特点。光谱范围为 370 到 1050 nm。SENpro 的光谱范围与精密的 SpectraRay/4 软件相结合，可轻易地确定单层膜和复合层叠膜的厚度和折射率。

● 具有成本效益的桌面式 SENpro 包括可见光到近红外椭偏仪光学，5° 步进角度计，样品台、激光准直器、光纤耦合稳定光源和探测器单元。SENpro 配备了用于系统控制和数据分析的光谱椭偏仪软件 SpectraRay/4 ，用于包括建模，拟合和报告输出。即使对于初学者，该程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持计算机控制的用于均匀性测量的自动扫描。

● SENpro 专注于薄膜测量的速度和精度，不管是何种薄膜应用。测量范围从 1 nm 的薄层膜到 15 μm 的厚层膜。

● 对于各种各样的应用，SpectraRay/4 都提供了预定义的配方。