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产品详情

INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能，**的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设点调整，抗腐蚀性的**纯陶瓷传感器具有**的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括**冲击的长使用**。**的传感器屏敝（**技术）保护真空计防止过程污染。**耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性，长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露**压后快速恢复等特性设定了新的标准。

优点
◆   全刻度范围从100毫乇…1000乇
◆   电源接通后的快速稳定性
◆   暴露**压后的快速恢复性
◆   抗腐蚀性陶瓷传感**器
◆   **的长期讯号稳定性
◆   温度补偿
◆   保护传感器防止污染
◆   一键调零功能
◆   宽范围电源
◆   2个设点（选项）
◆   RS232接口（选项）

用途
要求高的应用条件下，**而快速的压强测量:
◆   用于刻蚀，CVD，PVD，ALD半导体制造设备
◆   资料贮存和显示器制造设备
◆   工业真空设备
◆   常用高精度真空测量

订货资料
CDG025D，温度补偿型

全刻度范围法兰型式

Torr	Pascal	Mbar	1/2”tube	DN 16 ISO-KF	DN 16 CF-R	8 VCR
1000	133322	1333	375-000	375-001	375-002	375-003
100	13332	133	376-000	376-001	376-002	376-003
10	1333	13.3	377-000	377-001	377-002	377-003
1	13.3	0.13	378-000	378-001	378-002	378-003
0.1	13.3	0.13	379-000	379-001	379-002	379-003

CDG025D，温度补偿型，带2个设点和RS232接口
全刻度范围法兰型式

Torr	Pascal	Mbar	1/2”tube	DN 16 ISO-KF	DN 16 CF-R	8 VCR
1000	133322	1333	375-300	375-301	375-302	375-303
-	110000	1100	375-500	375-501	375-502	375-503
200	26664	267	382-300	382-301	-	-
100	13332	133	376-300	376-301	376-302	376-303
-	10000	100	376-500	376-501	376-502	376-503
20	2666	26.7	-	-	-	-
10	1333	13.3	377-300	377-301	377-302	377-303
-	1000	10	377-500	377-501	377-502	377-503
1	133	1.3	378-300	378-301	378-302	378-303
-	100	1	378-500	378-501	378-502	378-503
0.25	33.3	0.33	385-300	385-301	385-302	385-303
0.1	13.3	0.13	379-300	379-301	379-302	379-303
-	10	0.1	319-500	379-501	379-502	379-503