产品详情
原子分辨率300 kV透射电子显微镜
在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,*材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,*的工具。
为了满足这种需求,日立*公司研发出了 H-9500透射电子显微镜,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能,而且配置了很多满足客户多种需求的*功能,并采用了的数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。
和Windows?兼容的图形用户界面设计
快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)
高稳定性,高分辨率透射电子显微镜
点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm
稳定可靠的5轴优中心测角台
性能优异,可靠性高
得到市场验证的10级加速器电子枪设计
阻抗式高压电缆设计
高档可选附件
通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用
可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆
备注:FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。
项目 | 说明 | |
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分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(点分辨率) | |
加速电压 | 300kV、200kV*1、100kV*1 | |
放大倍率 | 连续放大模式 | 1,000~1,500,000× |
选区模式 | 4,000~500,000× | |
低倍模式 | 200~500× | |
电子枪 | 灯丝 | LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热) |
灯丝交换 | 自动升降式电子枪 | |
高压电缆 | 阻抗电缆 | |
照射系统 | 透镜 | 四级透镜 |
聚光镜光阑 | 4孔可变 | |
探针尺寸 | 微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4级) 纳米束模式:1 - 10 nm(4级) | |
电子束倾斜 | ±3° | |
成像系统 | 透镜 | 五级透镜 |
聚焦 | 图像摇摆调整 利用像散监视器进行正焦补偿 聚焦优化 | |
物镜光阑 | 4孔可变光阑 | |
选区光阑 | 4孔可变光阑 | |
电子衍射 | 选区电子衍射 纳米探针电子衍射 会聚束电子衍射 | |
相机长度 | 250 - 3,000 mm | |
样品室 | 样品台 | 5轴优中心海帕测角台 |
样品尺寸 | 3mmΦ | |
样品位置追踪 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm 通过CPU控制马达驱动 | |
样品位置显示 | 自动驱动,自动跟踪 | |
样品倾斜 | α = ±15°, β = ±15° (日立双倾样品台*2) | |
防污染 | 冷阱 | |
烘烤功能 | 中温烘烤功能 | |
观察室 | 荧光屏 | 主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ |
目镜 | 7.5× | |
照相室 | 区域选择 | 整张照相/半张曝光 |
胶片 | 25张(2套胶片盒) | |
图形用户界面 | 操作系统:Windows XP? | |
显示器 | 19英寸显示器 | |
功能 | 数据库,测量,图像处理 | |
数码CCD 相机*3 | 相机耦合 | 透镜耦合 |
有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 | |
A/D 分辨率 | 12位 | |
真空系统 | 电子枪 | 离子泵:60 L/s |
镜筒 | 涡轮分子泵:260 L/s | |
观察室/照相室 | 扩散泵:280 L/s 前级泵:135 L/min × 3台 |
*1:放大倍率校准为可选项
*2:可选件
*3:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机
以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺
增稠器 交流标准源仪 记录表 单片机全自动量热仪 轻合金车轮旋转弯曲疲劳试验机 传感器入门 高温调控蝶阀 继电器电磁系统 电子拉扭多功能材料试验机 摇床选矿 气动偏心旋转阀 多功能数字电流表 曲管地温表 校车汽车行驶记录仪 一种单相半桥五电平逆变器及其应用电路 WZPK RKC温控器 微差压表 电子气压表 浸入折光计 主机电源线 便携式傅立叶红外现场多气体分析仪 BSN960数字超声波探伤仪 防雷液位变送器 防爆数字显示压力表 氮气减压器 便携式水位计探测仪 单元组合仪表 北京阻旋式料位开关 JSDX-AD2E DYCP-31CN型琼脂糖水平电泳仪 手动压差调节阀 多功能原子力显微镜 ZP1719旋转式压片机 Q45F三通四密封球阀 沥青氧指数测定仪 转盘扭矩表 全自动电流互感器校验仪 通用接地电阻测试仪 自吸式水泵 周向盘式制动器 涡街带压力补偿流量计 突跳式温控器 老化测试箱 傅立叶红外全谱扫描乳品成分快速分析仪 外置光纤型测温仪 HBDO30-E+ 型三用表校验仪 三坐标检测仪 热综合分析仪 LF701齐纳式安全栅