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ZY-1压阻规--热偶规复合真空测量仪在ZO-2 热偶真空测量仪基础上增加了一路压阻规管,用于测量101kPa~200Pa之间的真空度。本仪器可同时测量两路真空度,其中真空室1由热偶规管1和压阻规管分段复合测量。
1 . 主要技术指标
1.1 测量范围: 101kPa~100 Pa ±10% (压阻规管)
200~1 Pa ± 20%(热偶规管)
1~0.1 Pa ± 50%(热偶规管)
1.2 配用规管: ZJ—54D 热偶规管
YZG—15A 压阻规管
1.3 电源电压: 交流220V 50Hz
1.4 使用环境: 5~30℃ 湿度 < 80%
1.5 外形尺寸: 321(w)X255(h)X380(D)mm3
开孔尺寸: 300(w)X220(h)mm2
2. 工作原理和使用方法
2.1 工作原理:
本仪器热偶规管采用定流方式工作。工作电流可以数字设定。可以自动调整**满度和高真空时的满度加热电流。真空度的单位自动转换。
为了提高101kPa~200Pa测量精度,同时避免气体种类对测量结果的影响,本仪器对真空室1复合了压阻规管,当真空室1的真空度处于上述范围时,压阻规管工作,高于上述范围时,热偶规管工作。
压阻真空规管是利用单晶硅的压阻效应制成的一种力敏器件。它以单晶硅为基体,按特定晶面,根据不同的受力形式分别加工成弹性应变元件,在弹性应变元件的适当位置,用集成电路工艺技术扩散四个等值电阻,组成惠斯登电桥。当不受压力作用时,电桥处于平衡状态;当受到压力作用时,一对桥臂电阻变大,另一对变小,电桥失去平衡。若对电桥加一恒定电流(电压),便输出对应于所加压力的电压信号,从而达到测量气体压力的目的。同时,由于压力测量取决于单晶硅基片的形变程度,测量结果与气体种类无关。
由于这种传感器的感受、**和检测三部分同由一个元件实现,没有中间转换环节,所以不重复性和迟滞等误差极小。同时由于硅单晶本身刚度很大,形变很小,保证了良好的线性度,因此综合精度**。
本仪器提供了压阻真空规管工作所**需的恒流源,并接收规管送出的压力信号。所有的调零、调满度等均由软件完成,并且用软件对规管电流源的微小变化进行补偿,扩大了规管的测量范围。使用**方便。
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