产品详情
介绍:
① 真空:2.0x10-8Pa;
② 材 质:316L不锈钢;
③ 接口法兰:全部CF刀口法兰;
④ 表面处理:除油电解抛光处理;
⑤ 腔体尺寸:根据用户需求定制。
MBE分子束外延设备介绍:
分子束外延(MBE)是新发展起来的外延制膜方法,也是一种特殊的真空镀膜工艺。外延是一种制备单晶薄膜的新技术,它是在适当的衬底与合适的条件下,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。
该技术的优点是:使用的衬底温度低,膜层生长速率慢,束流强度易于准确控制,膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜,以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料。
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