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产品详情
气体质量流量控制器ZHC09
产品特性：
*支持多种通讯协议
*高精度、高稳定性
*可控制多种气体
*可选配控制设备同时控制多台
*可控制瞬时流量和累积流量
*安装容易 操作简单 方便维护
应用领域：
*分析仪器 *生物技术 *真空镀膜
*气相色谱 *激光焊机 *化学化工实验室
安装尺寸：
技术参数：
1 | 流量规格 | （0^5、10、50、100、300、500）SCCM , （1、2、3、4、5）SLM |
2 | 控制和显示精度 | 0.1sccm |
3 | 准确度 | + 0.5% F.S. |
4 | 线性度 | + 1% F.S. |
5 | 重复精度 | + 0.5% F.S. |
6 | 响应时间 | < 1s |
7 | 工作压差 | 0--1MPa |
8 | 耐压 | 1.1MPa |
9 | 环境温度 | 0-70℃ |
10 | 电气连接 | Db9(公头) |
11 | 供电电源 | 15-40VDC |
12 | 模拟量 | DC 0-5V |
13 | 数字量 | RS485、RS232、RS422、CAN总线 |
14 | 气路接头 | 4mm、6mm、M8*1 |
15 | 气路管径 | 3mm、3.2mm、4mm、6mm |
16 | 气体种类 | Air He Ar N2 O2 H2 NO CO CH4 CO2 NO2 N2O NH3 |
电气连接：
RS485 | RS232 | RS422 | CAN总线 | |
PIN 1 | VCC | VCC | VCC | VCC |
PIN 2 | Set | Set | Set | Set |
PIN 3 | Moniter | Moniter | Moniter | Moniter |
PIN 4 | None | None | Z | None |
PIN 5 | GND | GND | GND | GND |
PIN 6 | None | None | Y | None |
PIN 7 | B | TX | B | CANH |
PIN 8 | A | RX | A | CANL |
PIN 9 | DGND | DGND | DGND | DGND |
产品型号表示：
ZHC09-①-②-③
注： ①=数字协议（RS485/RS232/RS422/CAN），
②=气体类别（Ar/O2/H2/CO2/Air等）
③=流量量程
范例：ZHC09-RS485-Air-500
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