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RTS-4型四探针测试仪
可连接电脑使用也可以不连接电脑使用,连接电脑使用带自动测量功能,自动选择适合样品测试电流量程;高速并口通讯接口,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒;
RTS-4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国标并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
RTS-4型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序,通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析
技?术?指?标 :
测量范围 | 电阻率:0.0001~2000Ω.cm(可扩展); |
可测晶片直径 | 140mmX150mm(配S-2A型测试台); |
恒流源 | 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调 |
数字电压表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV |
四探针探头基本指标 | 间距:1±0.01mm; |
四探针探头应用参数 | (见探头附带的合格证) |
模拟电阻测量相对误差 | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整机测量相对误差 | (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
整机测量标准不确定度 | ≤5% |
测试模式 | 可连接电脑测试也可不连接电脑测试 |
软件功能(选配) | 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据,并统计分析测试数据值、最小值、平均值、百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图, 也可把测试数据输出到Excel中,对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能,根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 |
计算机通讯接口 | 并口,高速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒 |
标准使用环境 | 温度:23±2℃; |
风向检测仪 雷达雨量水位监测站 雷达水位雨量监测系统 野外在线雷达雨量水位监测站 自动雷达水位雨量监测系统 水情监测系统 水文监测仪器设备 雷达 水文监测站 水雨情监测系统 雷达水位监测报警系统 泥水位监测站 风力发电监测系统 风速监测仪 风速监测系统 干湿球温差 卧式恒温振荡器 Labchipgx全自动电泳仪 AKF系列智能卡尔费休水分测定仪 蒸汽喷射式制冷机 轴承感应加热器 直流高压电缆 圆盘流量计 水平螺翼式水表 无线多点气体监测系统 振动计 湿热盐雾箱 固体图像传感器 真空截止阀 催化反应釜 中性盐雾试验 智能安防监控 内置光纤型测温仪 电池测试等温量热仪 电能质量监测仪 压力表校验台 远红外加热器 菲格瑞思智能压力变送器 三足式自动刮刀卸料离心机 热电偶热电阻自动检定装置 河流湖泊水利在线监控系统 9060型喷砂设备 HHT-3型HART手操器 鞋底耐折测试 水泥电动抗折机 微机控制超低温全自动冲击试验机 FLUKE OPV-WGA/PRO网络综合协议分析仪 油漆搅拌机 荧光磁粉探伤机OMS-3000 电源插头 智能型液压阀基础科学问题研究