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HET-1T多功能高精度二维材料显微转移系统
关键词:二维材料,干法,湿法,范德华
HET-1T多功能高精度二维材料显微转移系统适用于石墨烯,硫化钼,黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备。
由于在制备多层异质结结构的二维半导体材料晶体管的过程中,需要将一层二维材料转移到另一层二维材料上。在常规的大气环境中进行转移操作时,难免会遇到转移后两层材料中含有少量气泡的问题;并且,某些二维材料会受到空气中水和氧的影响,使得材料本身的性能下降。两者使得器件性能大大下降。
1. 显微转移操作平台:
a. 四轴可调衬底载物平台: XY方向行程 20mm,转移对位操作精度2μm;绕z 轴手动调节旋转最大±90°,测微器精细调节,行程5°,调节精度0.5°左右; 绕x轴和y 轴倾斜台,调节方式手动转轮,台面厚度20mm,倾斜角度±2°。
b. 衬底载物平台加热系统:样品台加热最高温度为240 ℃,使用 PID 温度控制器,温度控制稳定性小于±1℃(稳定性≦±0.1℃),带加热开关。
c. 四轴可调载玻片移动平台:载玻片 XYZ三轴可调,80mm高稳定性台面,行程25mm,测微丝杆控制;Z轴为29mm直径百刻线微分头,便于精细升降操作;样品送入手动旋转台,台面直径100mm,粗调旋转范围360°,细调旋转范围±5°,定位精度1~ 2°;
d. 支持真空自动吸附样品,确保转移过程中目标样品位置精确固定;真空泵电磁阀控制,按钮控制是否吸附样品;真空泵:25L-35L/min 流量;
e.双边载玻片夹具:辅助夹具片2片,夹具片75*25*1.5mm;
f.集成控制机箱:集成机柜包括电源、显微镜LED控制、温度控制、真空开关控制,工作电压220V,最大输出功率800W;
2. 显微成像光路系统:
a. 单筒显微镜:变倍比1:6.5,变倍范围0.7X-4.5X,标准工作距离90mm,分辨率63-180lp/mm,95mm超长工作距离20倍物镜,综合最大放大倍率850~900倍;双固定位设计,高倍放大下图像无明显抖动。
b. 白色LED照明:同轴照明系统,选用高亮度单颗1W LED,色温5500K,照明均匀;LED照明控制器90V-250V宽电压,1W LED控制器,可调光;
c. 显微相机:1920x1080高灵敏度CMOS传感器,30fps速度保存;支持HDMI相机直接输出到显示器;曝光时间0.4ms~999ms,自动白平衡;支持WIFI数据传输;提供显微相机操作软件,支持电脑控制,可软件测量显微样品尺寸及角度;工作温度-10~ 50摄氏度。
d. 显微观察支架:一体式高稳定性支架,长宽高240mm*100mm* 100mm,重量20kg,支持沿 xy方向 50mm行程,可大范围调节显微镜观察位置;
e. 显示器:24英寸1920*1200全高清专业显示器。
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