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FS 多波长椭偏仪

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更新时间:2024-05-08

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产品详情

Innovative˙Powerful˙Affordable

设计创新˙功能强大˙经济实惠

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Film Sense FS-1™ 多波长椭偏仪采用寿命长LED光源和非移动式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。

大多数厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量,就可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。

FS-1这款功能强大的多波长椭偏仪,售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1可应用于研究实验室,超净间,原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域

 

主要特点

4LED光源:蓝色(465nm),绿色(525nm),黄色(580nm),红色(635nm

椭偏仪探测器中无可移动部件

的膜厚精密性,大多数样品精密度优于0.001nm1秒获取数据),对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm

集成计算机,可实现对设备控制和数据分析,自带浏览器界面,可兼容任何现代计算机,笔记本或平板电脑

 


在线测量功能

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自动Mapping系统

FS-1™多波长椭偏仪,带紧凑自动mapping样品台,可以实现快速,准确和可靠的薄膜均匀性测量。

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软件控制

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主营产品:
磁控溅射、离子刻蚀、电子束蒸发
公司性质:
其他

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