高分辨率扫描电镜

高分辨率扫描电镜AIS2500C配备了LaB6，以便获得高分辨率扫描电镜SEM图像。它采用Mu金属合金用于***小化放大和升级的屏蔽和耐久性65°锥形物镜,实现宽样本的高分辨率图像。
高分辨率扫描电镜特点
安装65°锥形透镜（适用于宽试样）
提供分辨率和高像素分辨率图像
安装了超快扫描控制驱动程序
提供多任务窗口
允许大数据处理、存储和归档
通过自动分级和平铺
高性能分析软件和测量软件
高分辨率扫描电镜规格参数
光学系统参数
分辨率：2nm@30KV SE探测器，3nm@BSE探测器
放大倍率：10x~1,00,000x
图像：二次电子图像SEI, 可选背向散射电子图像BEI， TSEM图像
加速电压：0.6kv~30kv
电子枪类型：LaB6丝阴极
电子枪准直：自动
冷凝器镜头：电磁2级
物镜镜头：65度椎镜头
图像移动：350x350um (XY), 360度旋转
探测器： SE探测器
自动功能：自动电子枪准直，自动聚焦，自动对比度亮度，发射电流等
显示： 640x480(area 模式）， 960x640, 1024x768, 2048x 1536（检查模式）， 图片模式（2048x1536~8192x6144）
图像分析：Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移台参数
XYZ位移范围：60,70,65mm
tilt倾斜：-20~60度
旋转：360度
类型：手动5轴位移台 （可选3轴电动位移台）
选配真空系统
高真空模式：10^-5 Torr
可选配器件：EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等