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集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身
日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。
*配件
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搭载了简约UI,简单操作,如同触屏般直观。
Multi Zigzag可以自动获取连续的视野。可以在不同的视野中拍摄多张高倍率图像,并使用Viewer功能拼接拍摄的图像,创建大视野图像。
*配件
SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。
SU3800/SU3900全新研发的SEM/EDS一体化功能,通过SEM操作界面即可完成测试位置确定、条件设置、样品分析以及生成报告等一系列操作。通过SEM的全面控制,可以提高测试效率,减轻了操作人员的负担。
Hitachi Map 3D可对SU3800/SU3900的5分割背散射电子探测器当中的4个不同方向的SEM信号进行演算分析,生成三维图像。支持2点间高度、体积和简易表面粗糙度(面粗糙度、线粗糙度)测量。可一次性接收四个不同方向的信号,因此,无需倾斜样品台或合成图像。
SU3800 / SU3900搭载了IPI,可以将SEM图像传输到由美国Media Cybernetics公司开发的图像处理软件Image Pro。只需单击一下,即可将数据从SEM传输到图像测量软件。
显示了锆石晶体在相同视野下的观察结果。在BSE图像中很难看清铬浓度的缓和偏差。但是,在CL图像中可以确认到暗 色区域是对应于错浓度较高的区域。
*1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的显示尺寸。
*2.放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的显示尺寸。
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