热场发射环境扫描电镜

1、升级后的新产品-环境扫描技术的高分辨场发射扫描电镜。 

2、齐全的配置 

Quattro 场发射扫描电镜给用户配置了高真空的二次电子探头，低真空的二次电子探头，环境真空下的二次电子探头，以及背散射电子探头，和红外CCD 探头。能满足用户在日后工作中所有可能遇到的情况，以降低用户对样品制备的要求。 

低真空/环境真空技术使得不导电样品和/或含水样品不经导电处理即可直接成像和分析，样品表面无电荷累积现象。 

3、*的电子光学技术成熟的肖特基场发射电子枪、固定式末级光阑、60°/45°两级锥度极靴、大工作距离精密聚焦技术等，能对导电和不导电样品进行EDS/EBSD 分析，在高真空模式，低真空模式，或环境真空模式。

稳定的大束流(200 nA) 确保能谱及EBSD 分析工作的快速与准确。

4、“穿过透镜” 压差真空系统设计

普通高真空扫描电子显微镜的样品室和镜筒都处于高真空状态，要求所分析的样品必须是固体的导电样品，如果样品不是固体和导电的，需要对样品进行处理，使样品达到要求。然而，在研究工作中所遇到的样品中，固体导电样品只是很少一部分，通常我们还会遇到非导电固体样品，表面含水、含油的固体样品以及非固态样品。

在环境扫描电子显微镜中，通过特殊的真空系统设计，采用三个区域两个不同的泵来抽真空，样品室的真空度降低，使得不适应高真空的样品能够保持保持原始状态，在扫描电子显微镜中进行观察和分析。

与此同时，扫描电子显微镜的镜筒部分仍然处于高真空状态，满足电子光学系统的要求。在环境扫描电子显微镜中，通过向样品室充水汽，可保持含水样品和生物样品的原始状态。FEI/飞利浦环境扫描电子显微镜的样品室气体压力可在10Pa ～ 4000Pa 之间改变，达到样品中水的平衡，或进行样品的脱水、增湿测试。

5、二次电子探测器

在普通高真空扫描电子显微镜中，采用的是E‐T 二次电子探测器。这种探测器在低真空状态下不能工作。为了能够在样品室低真空状态下探测二次电子信号，FEI/飞利浦公司开发了低真空二次电子探测器GSED。

GSED 二次电子探测器的分辨率可达到< 1.4 nm ，与普通高真空电镜的分辨率指标相同。而且，GSED 探测器克服了E‐T 探测器的缺点，可观察发光、加热的样品。

6、特殊的样品仓设计284mm 大型样品仓，整体铸造而成，在5轴马达全自动驱动，给用户双重保证。在手动操作时, xT‐电镜控制软件也监控样品台的运行, 保证样品上座标的性。样品位置和观察条件记忆功能允许用户将感兴趣的区域的位置和电镜条件记忆下来, 可随时回复记忆的位置和观察条件, 方便用户的对比分析工作。

7、*的单窗口和四窗口操作界面

同时可以显示二次电子像，背散射像，以及他们的混合像，还有红外CCD 实时监控像。

这样可以获得的信息。控制区功能使用非常人性化, 控制功能易于接近。

8、特殊的红外CCD 设计

红外CCD 探头设计，不仅可以实时监控样品仓的内部情况，同时可以通过这个窗口控制样品台的移动，还可以利用这个床空拍摄低倍照片进行导航。

9、分析型末级光阑。

在一般的低真空扫描电子显微镜中，在低真空状态下，能谱分析的空间分辨率和分析精度大大降低，基本丧失了能谱分析的实用性。在环境扫描电子显微镜中，FEI/飞利浦配置了分析型末级光阑，能够保证在低真空状态下的能谱分析的空间分辨率和分析精度。

10、数字化扫描技术

在Quattro扫描电镜中, FEI/ 飞利浦采用了数字化的电子束扫描技术, 无论是通过Quanta xT‐控制软件对电镜进行操作, 还是外接的第三方分析设备, 都是基于网络结构进行数字化扫描控制。例如, 如果用户在Quanta 上安装能谱仪系统, 能谱仪公司只要将其为Quanta 设计的能谱探头安装在Quattro样品室上, 将其为Quattro 设计的能谱分析器通过Quattro提供的网络集线器进行网络连接, 能谱仪就可通过Quattro的数字化扫描器来控制电子束在样品表面的扫描。

11、真空系统

采用FEI/飞利浦的离子泵、分子泵、机械泵真空系统, 无油污染, 抽速快。

12、微观实验室

Quattro环境扫描电镜可安装特殊的原位样品台，如热台，冷台，和拉伸台。从‐165 °C 到1400 °C 温度范围内，对多种样品保持其原始状态下进行动态原位分析。