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产品详情
CP系列中图台阶仪品牌是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。仪器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性。系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。
CP系列中图台阶仪品牌采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；
2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；
3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。
1.出色的重复性和再现性，满足被测件测量精度要求
CP200-中图台阶仪品牌线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
2.超微力恒力传感器：（1-50）mg可调
测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，提高扫描精度，真实反映工件微小形貌。
4.顶视光学导航系统，5MP超高分辨率彩色相机
5.全自动XY载物台， Z轴自动升降、360°全自动θ转台
6.强大的数据采集和分析系统
台阶仪软件包含多个模块，为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。
| 型号 | CP200 |
| 测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术 |
| 样品观察 | 光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm |
| 探针传感器 | 超低惯量，LVDC传感器 |
| 平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
| 单次扫描长度 | 55mm |
| 样品厚度 | 50mm |
| 载物台晶圆尺寸 | 150mm（6吋）,200mm（8吋） |
| 台阶高度重复性 | 5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ） |
| 尺寸（L×W×H）mm | 640*626*534 |
| 重量 | 40kg |
| 仪器电源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W |
相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH
温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）
音频噪音：≤80dB
空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。
