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◆ 高速响应；
◆ 压电陶瓷驱动；
◆ 重复定位精度高；
◆ 纳米级位移分辨率；
◆ 机体材料分铝合金；
◆ 具有开环和闭环两种；
◆ 采用数控、线切割等加工工艺。严格保证结构精度；
◆ 采用计算机有限元仿真分析设计微动结构；
◆ 采用表面处理工艺，提高了适应工作环境的能力
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