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氮气气体质量流量控制器和流量计主要是利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传递分布效应而制成，即热分布式流量计，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。
氮气气体质量流量控制器和流量计将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。
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